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    2. 鍺單晶爐熱場清理工作臺的制作方法


      本實用新型涉及鍺單晶爐熱場清理技術領域,具體為一種鍺單晶爐熱場清理工作臺。



      背景技術:

      鍺單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位鍺單晶的設備,鍺單晶爐熱場是鍺單晶爐中必備部件,主要由柱狀等靜壓石墨加工而成,加熱、保溫、熱屏、防漏(硅)等均是通過熱場來實現的,鍺單晶爐熱場在運行一爐完成后,需要對其進行拆爐清理,清除附著在石墨件上的碳化硅、硅蒸汽等雜質。

      當前清理石墨件上附著雜質時,操作人員在石墨清理間內作業,主要采用百潔布和小型研磨機,在打磨雜質時容易造成揚塵,粉塵較多,清理作業環境較差,故采用吸塵裝置對粉塵進行吸除,為了減輕工作人員的清理負擔,采用固定式的吸塵裝置對粉塵進行吸除,死角較多,粉塵的吸收速度慢,后出現的改善方式采用兩組吸塵口正吸和反吹的方式全面清除死角粉塵,但是清理工作臺的密封性不高,導致粉塵溢散,變相增加工作人員的清理負擔,然而密封性好的清理工作臺端蓋難打開,使用不夠便捷,實用性差。



      技術實現要素:

      本實用新型的目的在于提供一種鍺單晶爐熱場清理工作臺,具備有效減少粉塵吸收的死角,增大粉塵的吸收速度,避免粉塵堆積對石墨件加工造成的影響,密封效果強,有效避免粉塵遺漏,改善工作環境,減輕工作人員的清理負擔,避免良好密封情況下工作人員無法將密封蓋提起,使用便捷的優點,可以解決現有技術中死角較多,粉塵的吸收速度慢,密封性不高的清理工作臺粉塵容易溢散,密封性高的清理工作臺端蓋難打開,使用不夠便捷的問題。

      為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種鍺單晶爐熱場清理工作臺,包括密封工作箱組件、加工臺組件和手動開箱組件,密封工作箱組件的內部安裝加工臺組件,加工臺組件的底部與手動開箱組件固定連接,手動開箱組件位于密封工作箱組件的下方,密封工作箱組件包括密封箱體、弧形轉動環、轉軸、側安裝架、支撐底板和密封蓋,密封箱體的背部外部固定安裝兩組側安裝架,側安裝架的底部固定在支撐底板上,兩組側安裝架之間活動安裝轉軸,轉軸的外壁包覆弧形轉動環,弧形轉動環與密封蓋的側壁固定連接,密封箱體的內部安裝加工臺組件;

      加工臺組件包括石墨放置臺、支撐曲柱、第一吸塵口、底座和第二吸塵口,石墨放置臺設置為環形鏤空結構,石墨放置臺的底部通過支撐曲柱與底座固定連接,底座的外壁固定安裝環形的第一吸塵口,底座的底部與密封箱體的底面接觸連接,密封箱體的側壁上環繞設置第二吸塵口,第二吸塵口的高度低于石墨放置臺的頂面高度,底座的底部設有對接口,對接口與手動開箱組件固定連接;

      手動開箱組件包括箱體壁、電機安裝臺、電機、手動拉伸軸、偏差件、齒條、齒輪、連接桿、對接樁和弧形轉動臂,箱體壁的頂面與密封箱體的底面固定連接,箱體壁的底面通過電機安裝臺固定連接電機,電機的側面設有手動拉伸軸,手動拉伸軸的一端伸出箱體壁,手動拉伸軸的另一端通過螺栓與偏差件相接,偏差件的端焊接齒條,齒條與齒輪嚙合,齒輪固定安裝在連接桿上,連接桿的兩端在兩組對接樁的內部轉動,連接桿的兩端均固定安裝弧形轉動臂,弧形轉動臂的另一端與弧形轉動環的外表面固定連接。

      優選的,所述第一吸塵口的直徑尺寸大于石墨放置臺的直徑尺寸。

      優選的,所述密封蓋的兩側邊沿設置為左右交錯的長鋸齒狀結構,密封蓋的形狀尺寸與密封箱體頂部的形狀尺寸一致。

      優選的,所述電機的動力輸出端穿過密封箱體的底面與對接口固定連接。

      優選的,所述對接樁的底部固定在箱體壁的底面上。

      與現有技術相比,本實用新型的有益效果如下:

      本鍺單晶爐熱場清理工作臺,將石墨件放在石墨放置臺上,電機帶動底座轉動使得工作人員能夠全方位無死角的對石墨件進行加工處理,在加工過程中的粉塵由第一吸塵口和第二吸塵口吸入到中空的密封箱體的箱體板壁內部,第一吸塵口和第二吸塵口的開設高度不一,有效減少粉塵吸收的死角,增大粉塵的吸收速度,避免粉塵堆積對石墨件加工造成的影響,完成加工后的密封箱體內部仍然有未處理的遺漏粉塵,將密封蓋蓋在密封箱體上,通過第一吸塵口正吸、第二吸塵口反吹的方式完成剩余粉塵的清理吸入,密封蓋的兩側邊沿設置為左右交錯的長鋸齒狀結構,左右交錯的長鋸齒狀結構卡合在密封箱體的箱體板側壁上,加強密封效果,有效避免粉塵遺漏,改善工作環境,減輕工作人員的清理負擔,清理徹底完成后,拉動手動拉伸軸,手動拉伸軸帶動齒條后退,使得齒輪產生順時針方向上的旋轉,并通過連接桿帶動弧形轉動臂順時針旋轉將密封蓋提起,避免良好密封情況下工作人員無法將密封蓋提起,使用便捷,增加實用性。

      附圖說明

      圖1為本實用新型的密封蓋閉合狀態下的整體結構示意圖;

      圖2為本實用新型的密封蓋開啟狀態下的整體結構示意圖;

      圖3為本實用新型的加工臺組件結構示意圖;

      圖4為本實用新型的對接口開設位置示意圖;

      圖5為本實用新型的手動開箱組件結構示意圖。

      圖中:1、密封工作箱組件;11、密封箱體;12、弧形轉動環;13、轉軸;14、側安裝架;15、支撐底板;16、密封蓋;2、加工臺組件;21、石墨放置臺;22、支撐曲柱;23、第一吸塵口;24、底座;241、對接口;25、第二吸塵口;3、手動開箱組件;31、箱體壁;32、電機安裝臺;33、電機;34、手動拉伸軸;35、偏差件;36、齒條;37、齒輪;38、連接桿;39、對接樁;310、弧形轉動臂。

      具體實施方式

      下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。

      請參閱圖1,一種鍺單晶爐熱場清理工作臺,包括密封工作箱組件1、加工臺組件2和手動開箱組件3,密封工作箱組件1的內部安裝加工臺組件2,加工臺組件2的底部與手動開箱組件3固定連接,手動開箱組件3位于密封工作箱組件1的下方,密封工作箱組件1包括密封箱體11、弧形轉動環12、轉軸13、側安裝架14、支撐底板15和密封蓋16,密封箱體11的背部外部固定安裝兩組側安裝架14,側安裝架14的底部固定在支撐底板15上,兩組側安裝架14之間活動安裝轉軸13,轉軸13的外壁包覆弧形轉動環12,弧形轉動環12與密封蓋16的側壁固定連接,密封箱體11的內部安裝加工臺組件2。

      請參閱圖2-4,加工臺組件2包括石墨放置臺21、支撐曲柱22、第一吸塵口23、底座24和第二吸塵口25,石墨放置臺21設置為環形鏤空結構,石墨放置臺21的底部通過支撐曲柱22與底座24固定連接,底座24的外壁固定安裝環形的第一吸塵口23,底座24的底部與密封箱體11的底面接觸連接,密封箱體11的側壁上環繞設置第二吸塵口25,第二吸塵口25的高度低于石墨放置臺21的頂面高度,底座24的底部設有對接口241,對接口241與手動開箱組件3固定連接。

      請參閱圖5,手動開箱組件3包括箱體壁31、電機安裝臺32、電機33、手動拉伸軸34、偏差件35、齒條36、齒輪37、連接桿38、對接樁39和弧形轉動臂310,箱體壁31的頂面與密封箱體11的底面固定連接,箱體壁31的底面通過電機安裝臺32固定連接電機33,電機33的側面設有手動拉伸軸34,手動拉伸軸34的一端伸出箱體壁31,手動拉伸軸34的另一端通過螺栓與偏差件35相接,偏差件35的端焊接齒條36,齒條36與齒輪37嚙合,齒輪37固定安裝在連接桿38上,連接桿38的兩端在兩組對接樁39的內部轉動,連接桿38的兩端均固定安裝弧形轉動臂310,弧形轉動臂310的另一端與弧形轉動環12的外表面固定連接,第一吸塵口23的直徑尺寸大于石墨放置臺21的直徑尺寸,密封蓋16的兩側邊沿設置為左右交錯的長鋸齒狀結構,密封蓋16的形狀尺寸與密封箱體11頂部的形狀尺寸一致,電機33的動力輸出端穿過密封箱體11的底面與對接口241固定連接,對接樁39的底部固定在箱體壁31的底面上。

      工作原理:將石墨件放在石墨放置臺21上,電機33帶動底座24轉動使得工作人員能夠全方位無死角的對石墨件進行加工處理,在加工過程中的粉塵由第一吸塵口23和第二吸塵口25吸入到中空的密封箱體11的箱體板壁內部,完成加工后的密封箱體11內部仍然有未處理的遺漏粉塵,將密封蓋16蓋在密封箱體11上,通過第一吸塵口23正吸、第二吸塵口25反吹的方式完成剩余粉塵的清理吸入,密封蓋16的兩側邊沿設置為左右交錯的長鋸齒狀結構,左右交錯的長鋸齒狀結構卡合在密封箱體11的箱體板側壁上,清理徹底完成后,拉動手動拉伸軸34,手動拉伸軸34帶動齒條36后退,使得齒輪37產生順時針方向上的旋轉,并通過連接桿38帶動弧形轉動臂310順時針旋轉將密封蓋16提起。

      綜上所述:本鍺單晶爐熱場清理工作臺,將石墨件放在石墨放置臺21上,電機33帶動底座24轉動使得工作人員能夠全方位無死角的對石墨件進行加工處理,在加工過程中的粉塵由第一吸塵口23和第二吸塵口25吸入到中空的密封箱體11的箱體板壁內部,第一吸塵口23和第二吸塵口25的開設高度不一,有效減少粉塵吸收的死角,增大粉塵的吸收速度,避免粉塵堆積對石墨件加工造成的影響,完成加工后的密封箱體11內部仍然有未處理的遺漏粉塵,將密封蓋16蓋在密封箱體11上,通過第一吸塵口23正吸、第二吸塵口25反吹的方式完成剩余粉塵的清理吸入,密封蓋16的兩側邊沿設置為左右交錯的長鋸齒狀結構,左右交錯的長鋸齒狀結構卡合在密封箱體11的箱體板側壁上,加強密封效果,有效避免粉塵遺漏,改善工作環境,減輕工作人員的清理負擔,清理徹底完成后,拉動手動拉伸軸34,手動拉伸軸34帶動齒條36后退,使得齒輪37產生順時針方向上的旋轉,并通過連接桿38帶動弧形轉動臂310順時針旋轉將密封蓋16提起,避免良好密封情況下工作人員無法將密封蓋16提起,使用便捷,增加實用性。

      需要說明的是,在本文中,諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區分開來,而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且,術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含,從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設備不僅包括那些要素,而且還包括沒有明確列出的其他要素,或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設備所固有的要素。

      盡管已經示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權利要求及其等同物限定。

      主題:干燥設備

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